氧化锌奈米柱薄膜及其制备方法

摘要

本发明系提供一种在一基板上形成氧化锌晶种层，并于锌离子浓度为0.001～0.1M的氧化锌奈米柱薄膜成长溶液中于50～100℃之成长温度及0.5～10小时之成长时间下，令前述氧化锌晶种层上成长出一氧化锌晶柱层，进而获取一成长有晶柱层之氧化锌奈米柱薄膜的氧化锌奈米柱薄膜制备方法；该氧化锌奈米柱薄膜制备方法具有制程简单、低温与低成本，且能提供高致密性且具有良好光学特性之氧化锌奈米柱薄膜。