| 发明名称 |
MULTILAYER GROWTH BY GAS PHASE DEPOSITION |
| 摘要 |
<p>A multilayer system where intermediate well bonded and cross-linked layers provide attachment for a finishing layer with desired reactive sites.</p> |
| 申请公布号 |
EP2499276(A4) |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
| 申请号 |
EP20100830676 |
申请日期 |
2010.11.10 |
| 申请人 |
BRIGHAM YOUNG UNIVERSITY |
发明人 |
LINFORD, MATTHEW, R.;JENSEN, DAVID, S.;ZHANG, FENG |
| 分类号 |
C23C16/44;B05D1/00;B05D1/38;B05D7/00;C23C16/18;C23C16/52;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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