包括用于提供多次成像和测量能力的可插入组件的3D显微镜

摘要

一种三维（3D）显微镜包括有助于多次成像和测量能力的多个可插入的组件。这些能力包括Nomarski成像、偏振光成像、定量差分干涉对比度（q-DIC）成像、机动偏振光成像、相移干涉测量法（PSI）以及垂直扫描干涉测量法（VSI）。

主权项

一种能够产生3D图像的显微镜照明装置，所述显微镜照明装置包括：第一光源，形成第一光路的部分；第二光源和一组物品，形成第二光路的部分，所述一组物品包括至少多个有图案的物品；共享的一组组件，用于所述第一和第二光路，所述共享的一组组件包括第一分束器、透镜组和分束器集合，所述第一光源将光引导到所述第一分束器上，并且所述第二光源经由所述一组物品中的一个将光引导到所述第一分束器上，所述一个物品的表面位于所述透镜组的有效焦平面处，并且所述透镜组经由所述分束器集合在显微镜物镜的入射光瞳处对第一光源和第二光源成像，所述分束器集合包括安装在多位置固定装置上的第二分束器和一对分束器；聚焦透镜，其中分束器集合和聚焦透镜形成第三光路的部分，用于将光引导至外部连接器；以及多引脚连接器，电连结至第一光源和第二光源。