| 发明名称 | 感光光阻检验方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种感光光阻检验方法，包括如下步骤：利用黄光照射感光光阻的第一表面；目测所述感光光阻与第一表面相对的第二表面是否出现亮点；根据亮点强弱判断所述感光光阻是否存在透空。此外，还提出一种感光光阻检验装置。上述感光光阻检验方法及装置，利用黄光照射感光光阻的第一表面，通过观察感光光阻相对的第二表面是否有出现亮点，并根据亮点的强弱判断是否存在透空，能够检验在黄光下印刷或涂覆的感光光阻是否存在透空，简单可靠且效率高。 | ||
| 申请公布号 | CN103245677A | 申请公布日期 | 2013.08.14 |
| 申请号 | CN201310158702.8 | 申请日期 | 2013.05.02 |
| 申请人 | 苏州欧菲光科技有限公司 | 发明人 | 周志华;唐根初;唐彬;敖鹤;陈靖东 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 邓云鹏 |
| 主权项 | 一种感光光阻检验方法，其特征在于，包括如下步骤：利用黄光照射感光光阻的第一表面；目测所述感光光阻与第一表面相对的第二表面是否出现亮点；根据亮点强弱判断所述感光光阻是否存在透空。 | ||
| 地址 | 215133 江苏省苏州市相城区黄埭镇康阳路233号 | ||