| 发明名称 | 感光性组合物、由其形成的固化膜及具有固化膜的元件 | ||
| 摘要 | 正型感光性组合物，为含有(A)碱可溶性树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂、和(D)金属螯合物的正型感光性组合物，其特征在于，(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构，(D)金属螯合物的含量，相对于(A)碱可溶性树脂100重量份为0.1～5重量份。提供具有高耐热性、高透明性的特点，进而显影密合性、耐湿热性优异的正型感光性组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103180784A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201180052802.1 | 申请日期 | 2011.08.30 |
| 申请人 | 东丽株式会社 | 发明人 | 藤原健典;诹访充史;内田圭一;福原将;妹尾将秀 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 蔡晓菡;孟慧岚 |
| 主权项 | 1.正型感光性组合物，其为含有(A)碱可溶性聚硅氧烷和/或碱可溶性丙烯酸系树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂和(D)金属螯合物的正型感光性组合物，其中，(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构，相对于(A)碱可溶性聚硅氧烷和/或碱可溶性丙烯酸系树脂100重量份，(D)金属螯合物的含量为0.1～5重量份，<img file="DEST_PATH_IMAGE001.GIF" wi="278" he="129" />通式(1)所示的金属螯合物中，M为金属原子，R<sup>1</sup>可以相同或不同、分别表示氢、烷基、芳基、烯基以及它们的取代物，R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>可以相同或不同、分别表示氢、烷基、芳基、烯基、烷氧基以及它们的取代物，j表示金属原子M的化合价，k表示0～j的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||