Medio de texturización y limpieza para el tratamiento de la superficie de obleas y su uso

摘要

Medio líquido de texturización y limpieza para el Medio líquido de texturización y limpieza para el tratamiento de la superficie de obleas monocristaltratamiento de la superficie de obleas monocristalinas que contieneal menos un mordiente alcalino painas que contieneal menos un mordiente alcalino para silicio monocristalino y al menos un compuesto ra silicio monocristalino y al menos un compuesto orgánico poco volátil con unatemperatura de ebulliorgánico poco volátil con unatemperatura de ebullición de más de 110ºC, caracterizado porque el compción de más de 110ºC, caracterizado porque el compuesto orgánico poco volátil es unpolisorbato, monouesto orgánico poco volátil es unpolisorbato, monolaurato de polioxietilen-sorbitán o un (poli)alcohlaurato de polioxietilen-sorbitán o un (poli)alcohol seleccionado del grupo de los dioles C4-C8 decaol seleccionado del grupo de los dioles C4-C8 decadena lineal, ramificados o cíclicos, trioles C6-C1dena lineal, ramificados o cíclicos, trioles C6-C12 de cadena lineal, ramificados o cíclicos y mezcl2 de cadena lineal, ramificados o cíclicos y mezclas de los mismos,en especial seleccionados del gruas de los mismos,en especial seleccionados del grupo constituido por 1,5-pentanodiol, 1,6-hexanodiolpo constituido por 1,5-pentanodiol, 1,6-hexanodiol, cis/trans-1,X-ciclopentanodiol(X >= 2, 3), cis/t, cis/trans-1,X-ciclopentanodiol(X >= 2, 3), cis/trans-1,X-ciclohexanodiol (X >= 2, 3, 4), cis/transrans-1,X-ciclohexanodiol (X >= 2, 3, 4), cis/trans-1,X-cicloheptanodiol (X >= 2, 3, 4), ciclohexanot-1,X-cicloheptanodiol (X >= 2, 3, 4), ciclohexanotrioles,cicloheptanotrioles, ciclononanotrioles, enrioles,cicloheptanotrioles, ciclononanotrioles, en especial 1,4,7-ciclononanotriol, cis/trans-1,4-ci especial 1,4,7-ciclononanotriol, cis/trans-1,4-ciclohexanodiol y mezclas delos mismos o el compuestclohexanodiol y mezclas delos mismos o el compuesto orgánico es al menos un ácido sulfónico aromático orgánico es al menos un ácido sulfónico aromático dado el caso substituido o un di-alcoholaromático dado el caso substituido o un di-alcoholaromático dado el caso substituido o ácido toluensulfónicoo dado el caso substituido o ácido toluensulfónico o un dihidroxibenceno dado el caso alquilsubstitu o un dihidroxibenceno dado el caso alquilsubstituido o 1,3-dihidroxi-4-metilbenceno o 1,2-dihidroxiido o 1,3-dihidroxi-4-metilbenceno o 1,2-dihidroxi-4-metilbenceno y caracterizado porque el mordient-4-metilbenceno y caracterizado porque el mordiente está seleccionado delgrupo constituido por hidróe está seleccionado delgrupo constituido por hidróxido sódico, hidróxido potásico, etilendiamina-pirxido sódico, hidróxido potásico, etilendiamina-pirocatecol y mezclas de los mismos. ocatecol y mezclas de los mismos.