一种薄膜晶体管、薄膜晶体管驱动背板的制备方法及薄膜晶体管驱动背板

摘要

一种薄膜晶体管、薄膜晶体管驱动背板的制备方法及所制备的驱动背板，薄膜晶体管的制备工艺包括a.在衬底上沉积并图形化金属导电层作为栅极金属层；b.在所述栅极金属层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积第二绝缘薄膜，然后使用自对准曝光方法图形化所述第二绝缘薄膜作为刻蚀阻挡层；e.在所述刻蚀阻挡层上沉积第三绝缘薄膜作为保护层，并图形化所述第三绝缘薄膜，刻蚀形成源漏电极区域；f.在所述保护层上制备并图形化金属薄膜层作为连接导线。本发明制备工艺简单，所制备的薄膜晶体管稳定性好、尺寸小，可实现薄膜晶体管驱动背板高精细化、低成本制作。

主权项

一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：a.在衬底上沉积并图形化金属导电层作为栅极金属层；b.在所述栅极金属层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积第二绝缘薄膜，然后使用自对准曝光方法图形化所述第二绝缘薄膜作为刻蚀阻挡层；e.在所述刻蚀阻挡层上沉积第三绝缘薄膜作为保护层，并图形化所述第三绝缘薄膜，刻蚀形成源漏电极区域；f.在所述保护层上制备并图形化金属薄膜层，作为连接导线。