一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计

摘要

本发明公开了一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，大大简化了操作人员的劳动强度，便于工艺培训和长晶操作。

主权项

一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮，所述工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮，籽晶提拉向上、向下和停止按钮，籽晶瞬提向上和向下按钮，籽晶瞬提间隔时间和瞬提距离设定对话框，晶体重量和晶体重量增长速率显示值，以及晶体生长情况视频显示界面，所述工艺曲线监控界面可同时显示功率曲线，晶体重量曲线，晶体生长速率曲线和晶体位置曲线，所述报警界面显示了水流报警，炉压报警，超温报警和急停使动按钮报警，所述参数表包括的参数有称重传感器的滤波时间，称重传感器称重范围和籽晶旋转加速度。