基体上之电动沉积及图案化程序的遮罩和方法

摘要

一种涂施于基体以帮助带电粒子电动沉积于该基体上的遮罩，该遮罩包括导电层、电介质层、以及遮罩开口。一种用以涂施带电粒子的图案至基体之方法，包括下列步骤：涂施具有导电层、电介质层、以及遮罩开口之遮罩至该基体，以产生经遮蔽的基体；将该经遮蔽的基体浸入含有该等带电粒子的电解液中；以及在该遮罩之导电层与对向电极之间建立电位，藉以电动地使该等粒子经由该等遮罩开口而沉积在该基体之暴露出于该等遮罩开口中之区域上。