氦质谱检漏仪的校准方法

摘要

本发明公开了一种入口压力可调节的氦质谱检漏仪的现场校准方法，包括以下步骤：1)吸枪装配在氦质谱检漏仪上，开启氦质谱检漏仪，确保试验空间内的大气中的氦气浓度不变；2)试验测试：调节检漏仪的入口压力，并实时记录下检漏仪的漏率反应值，数据形式为一个入口压力对应一个漏率反应值；3)根据对应的入口压力与漏率反应值的数据，进行y＝kx形式的线性拟合，得到拟合曲线，然后根据入口压力和校准曲线最终校准得到对应的真实漏率值。本发明的现场校准方法使用方便，资源需求少，实施便捷，且不需要额外的工装及功耗品，成本低廉。

主权项

一种入口压力可调节的氦质谱检漏仪的现场校准方法，包括以下步骤：1)吸枪装配在氦质谱检漏仪上，开启氦质谱检漏仪，确保吸枪的调压阀正常工作并使试验空间相对密闭且无明显空气流动，以保证试验空间内的大气中的氦气浓度不变；2)试验测试：调节检漏仪的入口压力，并实时记录下检漏仪的漏率反应值，数据形式为一个入口压力对应一个漏率反应值；a.待检漏仪的入口压力稳定后，试调节吸枪的调压阀，确保检漏仪的入口压力变化；b.调节检漏仪的入口压力，并实时记录检漏仪的漏率反应值和入口压力，记录对应的漏率反应值和入口压力的次数在10次以上；3)根据对应的入口压力与漏率反应值的数据，进行y＝kx形式的线性拟合，得到拟合曲线，此拟合曲线即为该量程范围内检漏仪的校准曲线，然后根据入口压力和校准曲线最终校准得到对应的真实漏率值。