一种工艺气体的输送法兰

摘要

本发明公开了一种工艺气体的输送法兰，其包括环形的法兰体、设于该法兰体内一侧的冷却水流道、设于该法兰体外缘的与冷却水流道一端口联通的进水管以及与其另一端口联通的出水管；还包括设于所述法兰体内另一侧的工艺气体流道、沿工艺气体流道内壁设置的并与法兰体内壁导通的一圈针孔、设于法兰体外缘的并与工艺气体流道联通的气嘴，设于法兰体的内圈、靠近冷却水流道一侧的密封圈。本发明将工艺气体通过法兰体针孔往石英管反应室内渗透，而不是采用传统的方式通过气嘴直接往里吹气。这使得工艺气体混合更加充分，在反应室内的分布更加均匀，也提高了反应室内气场的稳定性，很好地改善了硅片的镀膜效果。

主权项

一种工艺气体的输送法兰，其特征在于，包括环形的法兰体(1)、设于该法兰体内一侧的冷却水流道(2)、设于该法兰体外缘的与冷却水流道(2)一端口联通的进水管(3)以及与其另一端口联通的出水管(4)；还包括设于所述法兰体(1)内另一侧的工艺气体流道(5)、沿工艺气体流道内壁设置的并与法兰体内壁导通的一圈针孔(6)、设于法兰体外缘的并与工艺气体流道(5)联通的多气路汇集气嘴(7)，设于法兰体(1)的内圈、靠近冷却水流道(2)一侧的密封圈(15)。