压电振动片的制造方法及其装置、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种能够抑制在方形晶片上成膜掩模材料膜时的膜厚不匀的压电振动片的制造方法、压电振动片的制造装置、压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。所述制造方法具有通过旋涂法来成膜光刻胶膜(85a)(掩模材料膜)的光刻胶膜成膜工序，在该工序中以晶片保持部(72)的中心轴为旋转中心(K)使方形晶片(65)旋转来进行，旋转卡盘(70)具备支柱部(76)，整流板(88)具有支柱部(76)进行插通的插通孔(89a)，在整流板(88)的上表面(88a)向方形晶片(65)的第二面(65b)喷出气体的喷出孔(96)在较方形晶片(65)的外缘(66)靠晶片保持部(72)的径向内侧并且较插通孔(89a)的内周面靠径向外侧形成有多个。

主权项

一种由方形晶片来制造压电振动片的压电振动片的制造方法，其特征在于，具有：掩模材料膜成膜工序，在上述方形晶片的第一面通过旋涂法来成膜作为上述压电振动片外形形成时的掩模的掩模材料膜，在上述掩模材料膜成膜工序中，将上述方形晶片的第二面朝下方保持在旋转卡盘的晶片保持部的上表面，将自上述方形晶片的外缘伸出到外侧的整流板配置在上述晶片保持部的下方，并以上述晶片保持部的中心轴为旋转中心使上述方形晶片旋转，上述旋转卡盘具备沿上述旋转中心延伸设置于上述晶片保持部的下方以支撑上述晶片保持部的支柱部，上述整流板具有上述支柱部进行插通的插通孔，在上述整流板的上表面，向上述方形晶片的上述第二面喷出气体的喷出孔在较上述方形晶片的外缘靠上述晶片保持部的径向内侧并且较上述插通孔的内周面靠上述径向外侧形成有多个。