Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen von Drucksubstanz

摘要

Bei einem Verfahren zum Aufbringen von Drucksubstanz auf ein Substrat rotiert ein Drucksubstanzträger mit der Drucksubstanz darauf über dem Substrat und ein fokussierter Laserstrahl wird derart in den Drucksubstanzträger eingekoppelt, dass die Drucksubstanz abgelöst wird und auf die gegenüberliegende Oberfläche des Substrats übertragen wird. Der Drucksubstanzträger ist ein massiver runder Zylinder aus lichtdurchlässigem Material, der um seine Längsachse gedreht wird. Vor dem Auftreffen des Laserstrahls in die Schicht wird die Drucksubstanz flächig aufgebracht und dahinter wieder entfernt.