| 发明名称 | 电容式传感器 | ||
| 摘要 | 一种电容式传感器，所述电容式传感器包括固定电极和通过梁由半导体层的固定部分可动支撑的可动电极，其中固定电极和可动电极彼此相对，在固定电极和可动电极之间夹有间隙，从而组成检测单元，检测适合间隙的尺寸的电容，从而检测预定的物理值，其中连接到固定部分的梁的端部和连接到可动电极的梁的端部中的至少之一设置有调节局部应力集中的应力调节单元，所述应力调节单元为以束的形式相互重叠为许多层的三角形形状的单元框架。 | ||
| 申请公布号 | CN101432627B | 申请公布日期 | 2012.08.22 |
| 申请号 | CN200780015491.5 | 申请日期 | 2007.04.25 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 古久保英一;若林大介;宫岛久和;大渕正夫;青木亮 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张成新 |
| 主权项 | 一种电容式传感器，所述电容式传感器包括固定电极和通过梁由半导体层的固定部分可动支撑的可动电极，其中固定电极和可动电极彼此相对，在固定电极和可动电极之间夹有间隙，从而组成检测单元，检测适合间隙的尺寸的电容，从而检测预定的物理值，其中连接到固定部分的梁的端部和连接到可动电极的梁的端部中的至少之一设置有调节局部应力集中的应力调节单元，所述应力调节单元为以束的形式相互重叠为许多层的三角形形状的单元框架。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||