气化器和成膜装置

摘要

在使液体原料的液滴通过通气性部件气化时，将整个通气性部件的温度均匀，防止未完全气化而引起堵塞。具有：导入液滴状的液体原料的导入口(354)；板状的通气性部件(410)，其与导入口对置地配置，由具有借助通电发热的电阻的部件构成；以夹持通气性部件的方式对置配置的一对电极(420、430)；经由一对电极使通气性部件通电发热的交流电源(380)；将原料气体送到外部被的送出口(132)，该原料气体是使来自导入口的液滴状的液体原料通过发热的通气性部件的内部来气化而生成的。

主权项

一种气化器，其特征在于，具有：喷出喷嘴，其由合成树脂构成，用于将液体原料变为液滴状喷出；导入口，其导入上述液滴状的液体原料；板状的通气性部件，其与上述导入口相对置地配置，并由具有借助通电发热的电阻的部件构成；一对电极，其以夹持上述通气性部件的方式对置配置；电源，其经由上述一对电极使上述通气性部件通电发热；送出口，其将原料气体送到外部，该原料气体是使来自上述导入口的上述液滴状的液体原料通过发热的上述通气性部件的内部来气化而生成的。