发明名称 |
一种工艺过程参数的采集方法及系统 |
摘要 |
本发明公开了一种工艺过程参数的采集方法,用于获取工艺过程参数随时间变化的情况,所述方法包括:当下位机检测到上位机预先订阅的工艺过程参数发生变化时,通知上位机;所述上位机依据该通知获取所述工艺过程参数及对应的时间信息,并存储至数据库中。本发明可以减少垃圾数据的采集,保证所采集数据的有效性,并有效节省系统资源。 |
申请公布号 |
CN101673100B |
申请公布日期 |
2011.11.02 |
申请号 |
CN200910236047.7 |
申请日期 |
2009.10.19 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
马平;付金生 |
分类号 |
G05B19/048(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/048(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
苏培华 |
主权项 |
一种工艺过程参数的采集方法,其特征在于,用于获取工艺过程参数随时间变化的情况,所述方法包括:当下位机检测到上位机预先订阅的工艺过程参数发生变化时,通知上位机;本步骤包括以下子步骤:子步骤S1、建立观察者模型,在该模型中将上位机维护为观察者对象,将其订阅的工艺过程参数维护为被观察者对象;其中,所述观察者对象将自己注册到被观察者对象中,被观察者对象将观察者对象存放在一个容器内;子步骤S2、当被观察者对象发生变化时,从所述容器中获得所述注册的观察者对象,并将变化通知观察者对象;所述上位机依据该通知获取所述工艺过程参数及对应的时间信息,并存储至数据库中。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 |