发明名称 一种工艺过程参数的采集方法及系统
摘要 本发明公开了一种工艺过程参数的采集方法,用于获取工艺过程参数随时间变化的情况,所述方法包括:当下位机检测到上位机预先订阅的工艺过程参数发生变化时,通知上位机;所述上位机依据该通知获取所述工艺过程参数及对应的时间信息,并存储至数据库中。本发明可以减少垃圾数据的采集,保证所采集数据的有效性,并有效节省系统资源。
申请公布号 CN101673100B 申请公布日期 2011.11.02
申请号 CN200910236047.7 申请日期 2009.10.19
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 马平;付金生
分类号 G05B19/048(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I 主分类号 G05B19/048(2006.01)I
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人 苏培华
主权项 一种工艺过程参数的采集方法,其特征在于,用于获取工艺过程参数随时间变化的情况,所述方法包括:当下位机检测到上位机预先订阅的工艺过程参数发生变化时,通知上位机;本步骤包括以下子步骤:子步骤S1、建立观察者模型,在该模型中将上位机维护为观察者对象,将其订阅的工艺过程参数维护为被观察者对象;其中,所述观察者对象将自己注册到被观察者对象中,被观察者对象将观察者对象存放在一个容器内;子步骤S2、当被观察者对象发生变化时,从所述容器中获得所述注册的观察者对象,并将变化通知观察者对象;所述上位机依据该通知获取所述工艺过程参数及对应的时间信息,并存储至数据库中。
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