发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING GAN-BASED NITRIDE SEMICONDUCTOR SELF-SUPPORTING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR101040852(B1) 申请公布日期 2011.06.14
申请号 KR20097026490 申请日期 2008.05.22
申请人 发明人
分类号 C30B25/18;C30B29/38;H01L21/20;H01L33/12;H01L33/32 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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