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发明名称 PHASENVERSCHIEBUNGSINTERFEROMETRIEVERFAHREN UND -SYSTEM
摘要
申请公布号 DE60239825(D1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 DE20026039825 申请日期 2002.12.04
申请人 ZYGO CORP. 发明人 DECK, LESLIE L.
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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