全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源

摘要

一种全数字功率连续可调的电感耦合等离子体射频光源，属于无机分析仪器领域。包括：包括：RF控制电路、功率控制电路、功率电源电路、射频功率发生电路、气路控制电路、定向耦合器以及功率输出电路。计算机与RF控制电路之间采用串口连接，计算机发出控制信号，将输出功率作为参数传递给RF控制电路，控制信号经RF控制电路接入功率控制电路，功率控制电路根据控制信号的大小控制功率电源电路的输出电压，射频功率经由定向耦合器进入功率输出电路，输出功率信号进入功率控制电路进行闭环反馈。优点在于，可实现：光源点火自动化、氩气控制自动化、光源输出功率可在软件上进行连续设定，范围从650W-2000W，有利于分析性质不同的材料的化学成分。

主权项

一种全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源，包括：RF控制电路、功率控制电路、功率电源电路、射频功率发生电路、气路控制电路、定向耦合器以及功率输出电路；其特征在于：计算机与RF控制电路之间采用串口连接，计算机发出控制信号，将输出功率作为参数传递给RF控制电路，控制信号经RF控制电路接入功率控制电路，功率控制电路根据控制信号的大小控制功率电源电路的输出电压，输出电压进入射频功率发生电路产生与控制信号大小相对应的射频功率，射频功率经由定向耦合器进入功率输出电路，同时定向耦合器取得真实的输出功率信号，输出功率信号进入功率控制电路进行闭环反馈；RF控制电路通过排线连接气路控制电路，控制本光源所需的气体；RF控制电路通过同轴信号线连接功率控制电路，传递输出功率控制量到功率控制电路；功率输出电路输出产生的射频功率产生等离子体。