发明名称 DISPOSITIVO PER L'ALLOGGIAMENTO DI UN SUBSTRATO, E RELATIVO PROCEDIMENTO
摘要
申请公布号 ITUD20090151(A1) 申请公布日期 2011.03.04
申请号 IT2009UD00151 申请日期 2009.09.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BACCINI ANDREA;CELLERE GIORGIO;DE SANTI LUIGI;GALIAZZO MARCO;PASQUALIN GIANFRANCO;VERCESI TOMMASO
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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