18对棒多晶硅还原炉

摘要

本18对棒多晶硅还原炉在还原炉内壁有光滑的银层，底盘上配有18对电极、在底盘上均匀设置多个进气喷嘴，利用银的化学特性和良好的加工性，以及抛光后的镜面效果，使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分，此举不仅提高了产品纯度，也达到了大幅度节能降耗的目的。

主权项

18对棒多晶硅还原炉，包括底盘和炉体，在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，炉体上设有用于观察和测量温度的视孔，其特征在于还原炉内壁有一层厚度为2 3mm的光滑的银层，底盘上有18对用于生成硅棒的电极。