发明名称 FABRICATION METHOD OF THIN FILM DEVICE
摘要
申请公布号 KR101004849(B1) 申请公布日期 2010.12.28
申请号 KR20080086470 申请日期 2008.09.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L29/786 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址