发明名称 ОДНОКООРДИНАТНЫЙ БЛОК ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ
摘要 1. Однокоординатный блок вертикального перемещения, включающий основание, на котором установлена неподвижная часть направляющих, сопряженная с подвижной частью направляющих, на которых установлен подвижный элемент, при этом на основании закреплен привод, сопряженный с подвижным элементом, отличающийся тем, что привод для перемещения подвижного элемента выполнен из двух линейных инерционных шаговых пьезодвигателей, включающих подвижные каретки, соединенные с подвижным элементом. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подвижные каретки содержат шаровые опоры, сопряженные с подвижным элементом с возможностью кинематической развязки в плоскости, перпендикулярной направлению вертикального перемещения. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подвижный элемент сопряжен с пружиной, закрепленной на основании. ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что место закрепления пружины на подвижном элементе расположено несимметрично относительно точек взаимодействия шаровых опор с подвижными элементами. ! 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что каждый двигатель имеет индивидуальное подключение к блоку управления.
申请公布号 RU2009124110(A) 申请公布日期 2010.12.27
申请号 RU20090124110 申请日期 2009.06.25
申请人 ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU) 发明人 Быков Андрей Викторович (RU);Поляков Вячеслав Викторович (RU);Атепалихин Валентин Валентинович (RU)
分类号 H01J37/26;H01L41/09 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
地址