微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

摘要

本发明是有关于一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，具有一第一镜片以及一第二镜片，均为新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片所构成；其中，所述第一镜片，具有一第一光学面及一第二光学面，主要是将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描关系的扫瞄光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点；所述第二镜片，具有一第三光学面及一第四光学面，主要是将第一镜片的扫瞄光线修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件，藉由第一镜片及第二镜片的设置，可以达成线性扫描效果与高解析度扫描的功效。

主权项

一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，适用于微机电激光扫描装置，所述微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物；其特征在于所述二片式fθ镜片包含：由所述微机电反射镜起算，依序由一新月形且凹面在所述微机电反射镜侧的一第一镜片，以及一新月形且凹面在微机电反射镜侧的一第二镜片所构成，其中：所述第一镜片，具有一第一光学面及一第二光学面，是将所述微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点；所述第二镜片，具有一第三光学面及一第四光学面，是将所述第一镜片的扫描光线修正聚光于所述目标物上；藉由所述二片式fθ镜片，将所述微机电反射镜反射的扫描光线在一主扫描方向及一副扫描方向在所述目标物上成像；所述主扫描方向进一步满足下列条件： - 0.7 < d 3 + d 4 + d 5 f ( 1 ) Y < 0 0 < d 5 f ( 2 ) Y < 0.6 其中，f(1)Y为所述第一镜片在所述主扫描方向的焦距，f(2)Y为所述第二镜片在所述主扫描方向的焦距，d3为θ＝0°所述第一镜片目标物侧光学面至所述第二镜片微机电反射镜侧光学面的距离，d4为θ＝0°所述第二镜片厚度，d5为θ＝0°所述第二镜片目标物侧光学面至所述目标物的距离。