具有沟道隔离的背照式薄型光电二极管阵列

摘要

本发明涉及具有沟道隔离的背照式薄型光电二极管阵列。沟道在衬底的一个面或者两个面上形成，并且在对具有沟道的面进行掺杂之后，沟道被填满以提供相邻光电二极管之间的电隔离。光电二极管阵列及形成这种阵列的方法的各种实施例被公开。

主权项

一种背照式光电二极管阵列，其包括：具有第一面和第二面的衬底；从所述衬底的第一面形成的光电二极管阵列；形成围绕每个光电二极管的互连矩阵的、所述衬底中的沟道；具有比所述衬底传导性能更好的、所述沟道的壁；被填满的所述沟道；其中所述沟道提供相邻光电二极管之间的电隔离。