准分子灯装置

摘要

提供一种准分子灯装置，可以适于应对基板的大型化，并且可以降低运转成本，可以切实地进行基板表面的处理。本发明涉及的准分子灯装置的特征在于包括：容纳准分子灯的灯罩；气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置，设有气体喷出口；以及气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，通过上述气体供给单元，绝对湿度控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中。此外上述绝对湿度换算成重量绝对湿度为0.5～6.5g/kg。

主权项

一种准分子灯装置，其特征在于：包括：准分子灯；灯罩，容纳准分子灯，在该灯罩的下方具有将从该准分子灯放射的紫外光输出的光照射口；气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置；以及气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，在上述气体供给用配管上，沿着该气体供给用配管的长度方向设置有在准分子灯的上部空间开口的多个气体喷出口，通过上述气体供给单元，绝对湿度被控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中，从而上述惰性气体在准分子灯的上部空间滞留之后，沿着上述准分子灯的管壁，穿过上述气体供给用配管和准分子灯的间隙，向上述光照射口喷出。