振动微机械角速度传感器

摘要

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块借助于非对称的弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)支撑于传感器元件的框架处，以此方式，由弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于弹性结构中或其支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器结构能够以良好的性能实现可靠测量。

主权项

一种振动微机械角速度传感器，其包括至少一个测震质量块和相关联的活动电极，所述质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴相关的至少一个自由度，并且所述一个或多个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器元件的框架处，其特征在于，所述弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)是非对称的，从而由所述弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于所述弹性结构或所述弹性结构的支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。