发明名称 |
直拉法生产18吋太阳能用硅单晶的热场装置 |
摘要 |
本实用新型涉及18吋太阳能用硅单晶片的生产设备,具体是一种用直拉法生产硅单晶的生产设备中的直拉法生产18吋太阳能用硅单晶的热场装置。该装置包括有外壳、安装在外壳中心的石墨坩埚、位于石墨坩埚内的石英坩埚、位于石墨坩埚外围的加热电极和位于石英坩埚内侧的导流筒,所述加热电极在上、下方向上的长度为120-150毫米,加热电极的上沿距离导流筒的最短距离为60-85毫米之间,所述石墨坩埚低于石英坩埚20-30毫米。本实用新型可以保证在拉晶时有较高的拉速,较好的固液界面形状,气体在装置内的分布合理,有利于太阳能用单晶在较高的拉速下生长,获得平坦的固液界面。 |
申请公布号 |
CN201530877U |
申请公布日期 |
2010.07.21 |
申请号 |
CN200920042951.X |
申请日期 |
2009.06.30 |
申请人 |
镇江环太硅科技有限公司 |
发明人 |
施海明;陆景刚;张锦根;鄂林 |
分类号 |
C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 |
镇江京科专利商标代理有限公司 32107 |
代理人 |
夏哲华 |
主权项 |
一种直拉法生产18时太阳能用硅单晶的热场装置,包括有外壳、安装在外壳中心的石墨坩埚、位于石墨坩埚内的石英坩埚、位于石墨坩埚外围的加热电极和位于石英坩埚内侧的导流筒,其特征是:所述加热电极在上、下方向上的长度为120-150毫米,加热电极的上沿距离导流筒的最短距离为60-85毫米之间,所述石墨坩埚低于石英坩埚20-30毫米。 |
地址 |
212216 江苏省扬中市油坊镇环太工业园区 |