部件安装装置的头位置的校正方法及虚设喷嘴

摘要

本发明提供部件安装装置的头位置的校正方法及虚设喷嘴，能以简单的步骤准确地识别基板识别用照相机与头位置的实际偏移量，进行适当的校正。在头(14n)上装配虚设喷嘴(32)，用安装有头(14n)的保持器(12)所具备的OCC照相机(第二照相机)(26)识别基座(10)侧所具备的VCS照相机(第一照相机)(20)的位置，根据OCC照相机(26)与头(14n)的设计上的偏移量(On)，将该头(14n)移动到所识别的VCS照相机(20)的位置，用VCS照相机(20)拍摄移动后的位置的虚设喷嘴(32)的标记(36)，从而将移动后的该头(14n)从VCS照相机(20)的中心起的偏离(OnR)作为偏移量校正量求出。

主权项

一种部件安装装置的头位置的校正方法，所述部件安装装置利用装配于在基座上沿X-Y方向可移动的头上的喷嘴来吸附部件，将该部件配置在基板上，所述部件安装装置具有配置在所述基座上的第一照相机和与所述头一起在所述基座上可移动地装配的第二照相机，所述部件安装装置的头位置的校正方法的特征在于，所述校正方法包括：第一步骤，在所述头上装配所述喷嘴的虚设物即所述X-Y方向的自身的中心被标记的检查用夹具；第二步骤，利用所述第二照相机识别所述第一照相机的中心位置；第三步骤，考虑所述第二照相机与要校正的所述头之间的设计上的偏移量，将该头移动到所述第二步骤中识别出的第一照相机的中心位置；以及第四步骤，利用所述第一照相机拍摄移动后的位置上的所述检查用夹具的所述标记，从而将移动后的该头的从所述第一照相机的中心起的偏离检测为所述第二照相机与所述头之间的设计上的偏移量的校正量。