一种硅片旋转甩干装置

摘要

本实用新型涉及一种机械装置，具体公开了一种硅片旋转甩干装置，包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。所述轴承设于轴承座，所述花篮设于花篮托盘内。本实用新型具有干燥更全面、更彻底，制造成本低、性价比高的优点。

主权项

一种硅片旋转甩干装置，其特征在于：包括一槽体，该槽体中心位置具有一旋转轴，该旋转轴自上而下设有轴承、花篮，所述旋转轴的下端与一同步带轮相连接，该同步带轮上缠绕有同步带，所述槽体的左方设有一花篮。