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发明名称 SOI substrate manufacturing method
摘要
申请公布号 AU2009314986(A1) 申请公布日期 2010.05.20
申请号 AU20090314986 申请日期 2009.11.11
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 SHOJI AKIYAMA;ATSUO ITO
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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