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发明名称 Method for producing trichlorosilane and method for producing polycrystalline silicon
摘要
申请公布号 EP2033936(A3) 申请公布日期 2009.06.03
申请号 EP20080010812 申请日期 2008.06.13
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 SHIMIZU, TAKAAKI;OGURO, KYOJI
分类号 C01B33/107;C01B33/03 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
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