发明名称 |
影像感测器、影像侦测方法及电脑程式产品 |
摘要 |
本发明系关于一种影像,其在一用于曝光一基板之微影装置中用于侦测一辐射光束之一横截面中包含辐射强度空间差异的一空中图案。影像感测器包含一经配置以形成该空中图案之一侦测影像的透镜及一经配置以量测该侦测影像中之复数个位置中之辐射强度的影像侦测器。 |
申请公布号 |
TW200907555 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
申请号 |
TW097116377 |
申请日期 |
2008.05.02 |
申请人 |
ASML荷兰公司 |
发明人 |
史达尔 法兰克;杰瑞 罗夫;艾瑞克 罗勒夫 洛卜史塔;温 提波 泰尔;毕瑞其 莫斯特 |
分类号 |
G03B27/58(2006.01);G03B27/80(2006.01) |
主分类号 |
G03B27/58(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |