| 摘要 |
<p>Es wird ein mikromechanische Bauelement und ein Verfahren zur Schwingungsanregung eines Schwingungselements eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement einen Rahmen aufweist, welcher durch ein äußeres Aufhängeelement mit einem Trägersubstrat verbunden ist, wobei der Rahmen um eine erste Achse verkippbar und um eine zur ersten Achse senkrecht stehende zweite Achse schwingfähig ist, und wobei das mikromechanische Bauelement ein Schwingungselement aufweist, welches durch ein inneres Aufhängeelement mit dem Rahmen verbunden und um die zweite Achse verkippbar ist, und wobei ferner das äußere Aufhängeelement derart dimensioniert vorgesehen ist, dass eine erste Schwingung des Rahmens um die zweite Achse und eine zweite Schwingung des Schwingungselements um die zweite Achse eine maximale Kopplung aufweisen.</p> |
