发明名称 |
一种微机械往复膜片泵 |
摘要 |
本发明是一种微机械往复膜片泵,特别是涉及生物化学微量分析用的微机械往复膜片泵。它采用压电驱动器件作为动力源,使泵腔膜片产生振动,从而迫使泵腔往复地吸入、泵出流体;本发明采用惯性整流流道作为无运动件阀,使得沿一个方向的流动阻尼大于相反方向的流动阻尼;本发明采用惯性环行腔,进一步明显增大两个方向的阻尼差,有利于提高输出泵压,并减小由于输出回流导致的流量输出脉动。本发明具有结构简单易实现、可以驱动含有较大颗粒流体、不破坏流体中的细胞或大分子、无死体积、相同体积液体流过泵腔的时间一致等优点。本发明适用于在截面尺寸为几十、几百微米的微流道中驱动微小体积流体。 |
申请公布号 |
CN100458152C |
申请公布日期 |
2009.02.04 |
申请号 |
CN200410003457.4 |
申请日期 |
2004.03.24 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
王皓;姚汉民;杜春雷;焦玉中 |
分类号 |
F04B17/00(2006.01);F04B19/20(2006.01);F04B43/04(2006.01) |
主分类号 |
F04B17/00(2006.01) |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 |
代理人 |
刘秀娟;成金玉 |
主权项 |
1、一种微机械往复膜片泵,其特征在于:由泵体基板(1)与膜片(2)键合、膜片(2)与压电振子(3)粘接形成一体,泵体基板(1)上表面刻蚀出环形槽(5’)、圆台(8),与膜片(2)之间形成惯性环行腔(5);惯性环行腔(5)通过两个惯性整流流道(4)、(4’)分别与输入腔(6)、输出腔(7)连接;惯性整流流道(4)、(4’)端口段与惯性环行腔(5)形成相切位置关系,并且两个惯性整流流道(4)、(4’)的端口之间形成口对口的位置关系;与输入腔(6)相连接的惯性整流流道(4)内,从输入腔(6)流向惯性环行腔(5)的流阻小于从惯性环行腔(5)流向输入腔(6)的流阻;与输出腔(7)相连接的惯性整流流道(4’)内,从输出腔(7)流向惯性环行腔(5)的流阻大于从惯性环行腔(5)流向输出腔(7)的流阻。 |
地址 |
610209四川省成都市双流350信箱 |