开口的形成方法及图案化方法

摘要

一种开口的形成方法，首先提供基底。接着，于基底上形成垫层。然后，于垫层上形成掺杂矽玻璃层。接下来，于掺杂矽玻璃层上形成硼矽玻璃层。之后，于硼矽玻璃层上形成图案化罩幕层。继之，以图案化罩幕层作为罩幕，移除部份硼矽玻璃层、部份掺杂矽玻璃层与部分垫层。随后，移除图案化罩幕层。再者，以硼矽玻璃层作为罩幕，移除部份基底。接着，使用氢氟酸蒸气移除硼矽玻璃层与掺杂矽玻璃层。