主权项 |
1、单齿式齿轮整体误差测量装置,其特征在于:包括有第一电机(1)、第一圆光栅(2)、只含有一个轮齿的单齿测量齿轮(4)、第二电机(5)、第一精密导轨(6)、第一直线光栅(9)、被测齿轮(7)、第二圆光栅(8)、第二直线光栅(10)、第二精密导轨(12)和第三电机(13);其中:单齿测量齿轮(4)、第一圆光栅(2)和第一电机(1)依次同轴连接在第一精密密珠轴系(3)上,组成主动轴系,主动轴系的主轴与第一伺服系统(D1)连接;主动轴系固连在第一精密导轨(6)的工作台上,整个主动轴系能够随该工作台沿X方向作平移运动;第一精密导轨(6)和第二电机(5)与第二伺服系统(D2)连接,第一直线光栅(9)安装在第一精密导轨(6)上用来测量该导轨沿X方向的直线位移;被测齿轮(7)和第二圆光栅(8)同轴连接在第二精密密珠轴系(11)上,组成被动轴系;被动轴系固连在第二精密导轨(12)的工作台上,整个被动轴系能够随该工作台沿Y方向作平移运动;第二精密导轨(12)和第三电机(13)与第三伺服系统(D3)连接,第二直线光栅(10)安装在第二精密导轨(12)上用来测量该导轨沿Y方向的直线位移;第一圆光栅(2)、第二圆光栅(8)和第一直线光栅(9)、第二直线光栅(10)通过一系列前处理电路和数据采集卡(G)与计算机连接。 |