固定待抛光元件的吸附性垫片及其制造方法

摘要

本发明系关于一种固定一待抛光元件的吸附性垫片，其包括一底材及一表层。该底材具有一表面。该表层系位于该底材之表面上，该表层之内部无孔洞结构，且该表层具复数个贯穿孔。藉此，当该待抛光元件与该表层接触时，其间之空气可以经由该等贯穿孔排至该底材而顺利排出，而不会产生包空气的现象，可提高该待抛光元件与该吸附性垫片间之吸附力，增加该待抛光元件之抛光效果。