| 摘要 |
一种基板交换装置，系将由第1搬运部接收之第1基板传送到第2搬运部，并将由前述第2搬运部接收之第2基板传送到前述第1搬运部者，包含有：第2搬运部，系可在前述第1基板与前述第2基板之积层方向直交的方向进退者；支持构件，系可相对前述第2搬运部在前述基板之积层方向相对移动者；第1保持部，设置于前述支持构件，且可保持前述第1基板或前述第2基板之其中一者；及第2保持部，系设置于前述支持构件，且在前述基板之积层方向上与前述第1保持部间隔预定距离，并可保持前述第1基板或前述第2基板之其中一者；又，前述第1保持部与前述第2保持部之其中一者用于由前述第1搬运部接收前述第1基板时，前述基板交换装置则使前述支持构件与前述第2搬运部作相对移动，以使前述第1保持部与前述第2保持部之另一者用于以前述第1搬运部接收前述第2基板时。 |
