| 发明名称 | 扩散型兆声波清洗槽 | ||
| 摘要 | 一种扩散型兆声波清洗槽，其特征在于，包括：一清洗槽；一兆声阵列，该兆声阵列装在清洗槽的底部下面；一半球体能量扩散结构阵列，该半球体能量扩散结构阵列安装在清洗槽的底部上面，该兆声阵列与半球体能量扩散结构阵列相互对应。本发明的扩散型兆声波清洗槽，通过将石英槽底部的平面形状改为一些能起到扩散兆声的结构，它们将兆声振子发出的能量传递并扩散到清洗槽中，改变了本来的能量分布，从而更加适合广泛的清洗应用。 | ||
| 申请公布号 | CN101028625A | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN200610011399.9 | 申请日期 | 2006.03.01 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 朱蓉辉;惠峰;卜俊鹏;郑红军;赵冀 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01) | 主分类号 | B08B3/12(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种扩散型兆声波清洗槽，其特征在于，包括：一清洗槽；一兆声阵列，该兆声阵列装在清洗槽的底部下面；一半球体能量扩散结构阵列，该半球体能量扩散结构阵列安装在清洗槽的底部上面，该兆声阵列与半球体能量扩散结构阵列相互对应。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||