| 发明名称 | 在衬底上形成功能材料的图案的方法 | ||
| 摘要 | 一种在衬底(200)上形成功能材料的图案方法，该方法包括以下步骤：(a)向所述衬底的至少一个主表面涂一层功能材料(225)；(b)在所述一层功能材料上涂一层保护材料(230)，它可溶于功能材料(225)不可溶于其中的溶剂中；(c)去除衬底上明确限定的区域中的所述保护层(230)和功能材料层(225)的区域；以及(d)通过在所述溶剂中溶解从衬底(200)去除剩余的曝露的保护材料(230)。 | ||
| 申请公布号 | CN1998098A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200580016487.1 | 申请日期 | 2005.04.14 |
| 申请人 | 埃克西泰克有限公司 | 发明人 | A·R·巴克利;C·吉比勒;M·沃伊特;D·G·利德泽;K·L·伯伦;J·菲尔特 |
| 分类号 | H01L51/40(2006.01) | 主分类号 | H01L51/40(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张鑫 |
| 主权项 | 1.一种在衬底上形成功能材料的图案的方法，包括以下步骤：(a)向所述衬底的至少一个主表面涂一层功能材料；(b)在所述功能材料层上涂一层保护材料，所述保护材料可溶于所述功能材料不可溶于其中的溶剂中；(c)去除所述衬底上明确限定的区域中的所述保护和功能材料层的区域；以及(d)通过在所述溶剂中溶解来从衬底上去除剩余的曝露的保护材料。 | ||
| 地址 | 英国牛津 | ||