低温多晶矽薄膜元件、低温下直接沈积多晶矽薄膜的制程方法及其所应用之电感耦合式电浆化学气相沈积设备

摘要

一种低温多晶矽薄膜元件、低温下直接沈积多晶矽薄膜的制程方法及其所应用之电感耦合式电浆化学气相沈积设备，其乃利用高密度电浆与基材偏压可诱发结晶的方式，致使多晶矽材料在低温下结晶为多晶矽薄膜；再者，更利用具有优选方向及晶格常数与矽相近的诱发层，促使多晶矽薄膜之原子结构朝向规则排列，进而提高多晶矽薄膜的结晶品质与减少孕核层厚度。