| 摘要 |
一种适用于微悬臂梁之高精度连续类比式高敏感度相位与震幅变化侦测系统。此一相位与震幅侦测系统之系统架构包括一控制单元、一数值控制型震荡器、一动态驱动信号控制器、一感测器之致动器、一感测器、一四象限光侦测器、一电流至电压转换器、一前置放大电路、一低通滤波器、二相位移动电路、一方均根值转换器、一正弦波至方波转换器、一低通滤波器、一相位差侦测器，一带通滤波器、二动态信号补偿器、和一多通道高精度类比至数位转换器等。上述系统之工作原理为可以连续且类比之方式侦测一微悬臂梁因受外在物理量改变所导致的震幅与相位之改变，搭配相关的震幅与相位转换积体电路可以将相位差改变量与震幅改变量转换成相对应之电压改变量，将此电压改变量馈入上述之多通道高精度类比至数位转换器，即可以控制单元立即的观测作为感测器之悬臂梁因受外在物理量改变所产生之对应性震幅与相位变化。其优点在于制作成本低、连续式之侦测与转换方式、对于相位改变与震幅改变的侦测灵敏度高、相位信号对于待测弦波之震幅变化影响极小。 |
