涂敷装置

摘要

本发明提供一种可对应于异物的大小而区分狭缝喷嘴停止和异物的去除的涂敷装置。驱动直线电动机而使门形移动机构(3)向图中右方移动的同时，从狭缝喷嘴(14)下端的排出口向玻璃基板(W)表面涂敷涂敷液时，如果在移动方向前方，在基板(W)上附着有传感器(17)可感知的直径大小的异物(G1)，则传感器在感知其的时刻向直线电动机输出停止信号，并立刻停止门形移动机构的移动。而在移动方向前方，在基板上附着有传感器不可感知的直径大小的异物(G2)时，不向直线电动机输出停止信号，因此门形移动机构保持原样移动。异物(G2)由护板(15)排除。在异物(G2)的大小非常小时，虽然不能由护板排除，但此时狭缝喷嘴也不会受到损伤。

主权项

1.一种涂敷装置，在一对平行的轨道之间配置有基板载置平台，将具有狭缝喷嘴的门形移动机构，以跨越该基板载置平台的方式可移动地架设在前述轨道之间，该涂敷装置的特征在于，前述门形移动机构具有：与前述一对平行的轨道分别卡合的移动体；连接这些移动体之间的连接梁；在前述移动体之间可升降地被支撑的喷嘴底座，以基于前述狭缝喷嘴的涂敷方向为基准，在位于前方的前述喷嘴底座的局部安装有护板，该护板伴随着狭缝喷嘴的水平方向的移动来排除存在于基板上的微小的异物，在位于比该护板更前方的连接梁或移动体的局部安装有传感器，该传感器检测出存在于基板上的较大的异物，并输出使前述移动体停止的信号。