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发明名称 Kammer für CVD-Behandlungen
摘要
申请公布号 DE69535114(T2) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE1995635114T 申请日期 1995.11.13
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 ZHAO, JUN;CHO, TOM;DORNFEST, CHARLES;WOLFF, STEFAN;FAIRBAIRN, KEVIN;GUO, XIN SHENG;SCHREIBER, ALEX;WHITE, JOHN M.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/02;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/687 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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