用于集成光路的机械射束控制

摘要

公开了一种具有机械射束控制的光路。机械射束控制可以减小例如阵列波导管的光路的热敏度。同时公开了用于制造采用机械射束控制的集成光路的方法。

主权项

1.一种集成光路，其包括：在基板上具有波导管的第一区域，其具有第一热膨胀系数；在基板上具有波导管的第二区域，其具有第二热膨胀系数，且其与第一区域机械地隔开，以允许第一区域和第二区域相对于彼此转动；光学上连接第一区域波导管和第二区域波导管的透镜；以及位于第一区域和第二区域之间的膨胀块，其具有第三热膨胀系数，所述膨胀块的位置设置为可以响应温度的变化而使第一区域相对于第二区域转动；其中第三热膨胀系数不同于第一热膨胀系数，同时第三热膨胀系数不同于第二热膨胀系数。