第三族氮化物基板之制造方法

摘要

本发明之目的在于提供一种第三族氮化物基板之制造方法，其使用藉由金属线22而构成之金属线列21用以切断结晶块3，该结晶块3包含六方晶系第三族氮化物结晶。此时，以将结晶块3及金属线22中至少一方于与金属线22延长方向B直交之方向上进行传送并且一边供给研磨液一边切断结晶块3之方式，切断结晶块3。切断结晶块3时，将金属线22之延长方向B相对于结晶块3之｛1–100｝面倾斜3°以上。