| 发明名称 |
Method for manufacture of semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3215570(A) |
申请公布日期 |
1965.11.02 |
| 申请号 |
US19630266153 |
申请日期 |
1963.03.15 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
ANDREWS HARLAND C.;THOMAS BENJAMIN W. |
| 分类号 |
C23C16/20;H01L21/00;H01L21/225 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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