具有钻石层之散热片的制造方法及其产品

摘要

本发明是一种具有钻石层之散热片的制造方法及其产品，制造方法是先在多孔矽基材上成长钻石层，然后活化钻石层表面，再以具有高热传导系数的金属形成第一金属膜，接着将第一金属膜电镀增厚以支撑钻石层结构，然后再移除基材，接着活化钻石层底面，最后同样地以具有高热传导系数的金属形成第二金属膜，完成具有钻石层之散热片制备，藉着第二金属膜可与半导体元件连结，再藉由钻石层的高热传导性质，而可迅速的将热导离半导体元件，进而使半导体元件稳定的运作。