发明名称 Manufacturing method of Substrate for semiconductor Device and Manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100584124(B1) 申请公布日期 2006.05.30
申请号 KR20040015070 申请日期 2004.03.05
申请人 发明人
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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